|
̿
ʹ̼
ʹ̼ ٷ ̾, ũ Ҹ . 1(ȣ nm) 1m 1 1 ̰ 迡 鸸 Ѵ.
"縦 ϱ ۰ ϸ ٸ Ư Ÿ ȴ. ̸ ַ ݵü ̿ ũΡ ̽ ǽϰ ִ. ǿȭ ϰ ϴ ̽ ߱ϰ ִ"
ȸο , ǰ 1 ǻ ̽ MEMS(⽺=ũ ϷƮΡīáý ) θ.
ݵü ̶ Ҹ Ϳ MEMS ̶ Ҹ. ̼ MEMS ǰ ȿ롤 ִ Ȱ õ̱ ̴.
" Ư ϴ MEMS ̽ ȭ ϴٴ Ư¡ Ѵ. ⳪ ̿ ϴ"
õ п ߴ. ڻ "ũ ӽô ũ ǰ ". ڻ ״ ҿ ٹߴ. װ ũ 迡 ." ְ ̾. Ϻ ۵Ǵ ̾"
2000 ÷ ī (ũ īƮδн Ҽ) ر Ӱ ÿ ٽ dzʰ װ ĸ 繫 ȴ. 4Ⱓ ٹϸ鼭 ʸ Ҵ. Ϻ ѱ, , ״, , , ̱, 븸 ϰ ִ.
ϰ
" ũ Ƿ, , ſ, о߿ ̴. Ư о߰ ̿, Ƿ ̴. Ʈ ɾ. Ƿ Ĩ̳ ΰ ̿ ̿ ġ а Ͱ ۵ ٷ ְ ȴ. ġῡ ô뿡 "̶ ο ߿ 븦 ɰ ִ.
"ǿȭ ݡɼ Ұϴ. ߿ϴ" Ѵ. ۳ 6~7 ̱ Ϲ п ǽߴ.
Ŵ ؿܿ . ȸ ǥ 110 Ѵ´. ȸ 'ũ ӽŰ ý' ѱ, Ͼ, , Ҿ 4 ִ.
̴ ̺.
(2014-04-09 δ Ź)
|